Gasanalysesysteme für Druckbereiche bis 50 mbar

Pfeiffer Vacuum hat mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei neue Produkte auf den Markt gebracht. Beide Systemlösungen basieren auf dem bewährten Massenspektrometer PrismaPlus in Kombination mit einem trocken verdichtenden HiPace-Turbopumpstand und finden ihren Einsatz in der Überwachung und Dokumentation von Vakuumprozessen. Der Sputter Prozess Monitor zeichnet sich durch eine speziell entwickelte Ionenquelle aus, welche eine direkte Verbindung des Analysators mit der Prozesskammer ermöglicht. Dadurch lassen sich die Vakuumbedingungen von Sputterprozessen und ähnlichen Anwendungen bis zu einem Druck von 10-2 mbar momentgenau überwachen. Der Druckbereich bis 10 mbar erweiterbar. Der High Pressure Analyzer ist je nach Anwendungsbedingung mit drei verschiedenen Gaseinlassventilen erhältlich. Sein modularer Aufbau macht ihn zu einer flexibel einsetzbaren Vakuumlösung für Gasanalysen im Druckbereich von Hochvakuum bis 50 mbar.

Pfeiffer Vacuum auf der Achema: Halle 8.0, Stand E 62

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35614 Asslar
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