Während die eigentliche Aufbereitungstechnik mit ihren gegenüber Oxidationsmitteln unbeständigen Komponenten wie Reverse Osmose Membran, CEDI Modul und Ultrafiltration weiterhin zyklisch bei 85 °C sanitisiert werden muss, kann das Lager- und Verteilsystem permanent mit Ozon beaufschlagt werden. In neu errichteten Lager- und Verteilsystemen kann mit niedrigen Ozonkonzentrationen von 20 bis max. 50 ppb eine mikrobiologisch sichere Qualität konstant gehalten werden. Ein kritischer Punkt ist weiterhin die Messung der Ozonkonzentration, da es zur Kalibrierung der Messgeräte keinen rückführbaren Standard gibt. Die Nachweisgrenze etablierter Geräte liegt bei < 5 ppb, sodass Unternehmen mit ozonkritischen Produkten von einer permanenten Ozonisierung verständlicherweise absehen, um somit z.B. nur nachts oder am Wochenende zu ozonisieren. Die neueste Generation der Werner Ozongeneratoren zeichnen sich durch eine extrem kompakte Bauweise aus und können im Bereich von 0,8–10,0 g O₃/h skaliert werden. Werner hat in zahlreichen Wassersystemen für Highly Purified Water über lange Zeiträume nachweisbar durch Kaltlagerung mit Ozon signifikant niedrige mikrobiologische Ergebnisse erzielt, die eine Zulässigkeit und Wirksamkeit auch für kaltgelagerte M-WFI-Erzeuger garantieren.