Keyword: überkritisch Lewa

Anlagenbau & Prozesstechnik

Membranpumpen helfen bei der Reinigung von Silizium-Wafern mit überkritischem Kohlenstoffdioxid

27.03.2020 -

Die reinraumtauglichen Membrandosierpumpen mit PTFE-Sandwichmembran von Lewa eignen sich besonders für den Einsatz beim Kohlenstoffdioxid-Reinigungsverfahren für Silizium...

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