Der Bereich der Reinraumtechnik beschäftigte sich lange Zeit mit Möglichkeiten und Maßnahmen zur Beherrschung von biotischen oder abiotischen Partikeln
04.10.2012
- ReinRaumTechnik - Die Analyse luftgetragener molekularer Kontaminationen (airborne molecular contamination, AMC) in den Halbleiter-Fertigungslinien gewinnt zunehmend an Bedeutung...
