Reinraumtechnik

Weber Ultrasonics entwickelt intelligentes Sonopower 3S Megaschallsystem

Ultraschallreinigung für empfindliche Substrate

Empfindliche Bauteile wie monokristalline Wafer aus der Photovoltaik- und Halbleiterindustrie stellen ebenso wie optische Linsen und Prismen sowie feinst strukturierte Substrate stellen höchste Anforderungen an die Teilereinigung.

Winzigste Kontaminationen müssen ohne eine Beeinträchtigung der Oberfläche stabil entfernt werden. Für diese anspruchsvollen Reinigungsaufgaben hat Weber Ultrasonics das intelligente Sonopower 3S Megaschallsystem mit Frequenzen von 500–1.000 kHz entwickelt. Es stellt eine besonders schonende und gleichzeitig effektive Behandlung der Komponenten mit hohen Sauberkeitsgraden sicher. Das System besteht aus dem Sonopower 3S Megasonic Boost und den abgestimmten Hochfrequenz-Schwingern Sonoplate HF. Im Betrieb sorgt der Generator, der in den Leistungsklassen 250 und 500 Watt verfügbar ist, durch innovative Features dafür, dass die Reinigung einerseits sanft für die Oberfläche erfolgt, Verunreinigungen aber zuverlässig entfernt werden. Dazu zählt die kombinierte Frequenz- und Amplitudenmodulation, die für homogene Schallfelder sorgt und stehende Wellen verhindert. Durch den Sonoscan wird die optimale Arbeitsfrequenz automatisch ermittelt und eingestellt sowie während des Prozesses überwacht und angepasst. Dies gewährleistet, dass auch bei sich verändernden Betriebsbedingungen stets mit der idealen Leistung gearbeitet wird. Die Anpassungen erfolgen im laufenden Betrieb, was einen unterbrechungsfreien Betrieb sicherstellt.

Kontakt

Weber Ultrasonics GmbH

Im Hinteracker 7
Karlsbad

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