Keyword: Ausgasungsparameter

Anlagenbau & Prozesstechnik

Ausgasungstest für Reinraumbauteile

28.01.2010 - Chemische Verunreinigungen sind ein Schlüsselthema in der heutigen Chip-Produktion. Der wachsende Bedarf an immer leistungsstärkeren Halbleiterprodukten bringt ein Problem in der...